硅片全自动清洗甩干机是根据国际半导体产业和光伏产业的发展和市场需求而研发的全自动清洗甩干设备,具有高洁净度旋转清洗甩干功能。主要用于硅圆片、太阳能电池等类似材料的清洗甩干。是光伏、半导体湿法清洗工艺中必不可少的主要设备之一。
硅片全自动清洗甩干机针对不同用户、不同工艺需求、不同应用场合开发了系列化机型。用户可按自己的要求和不同工艺选择适合自己的机型型号和功能配置要求。
硅片全自动清洗甩干机结构特点
1、工作过程中,清洗工作腔与外间密封隔离。
2、工作腔、旋转支架及载片架均采用耐腐蚀不锈钢。表面经特殊亚电光化学处理。
3、旋转机构经精密的动、静平衡效验。保证系统工作时色平衡性和减少震动的产生。
4、精密的动,静平衡保证使得放硅片盒夹具与甩干机的位置无需--对应,操作简单。
硅片全自动清洗甩干机系统与控制
1、采用PLC可编程控制器及彩色触摸显示屏,程序控制智能化。
2、程序设计可靠。速度调节,温度调节,时间调节等没到程序指令用户都可以在触摸屏上任意设定、修改、保存。
3、采用电子变频调速技术无级调速,速度提升变换稳定。
硅片全自动清洗甩干机安装保障
1、设备具有漏电保护。
2、旋转机构需在关门良好的情况下才能正常运行。
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